接觸式探頭：如 VAST XXT、VAST XTR gold、VAST XT gold、VAST gold等，這些探頭在保證測(cè)量精度的同時(shí)，具有高速度的特點(diǎn)。
光學(xué)式探頭：如 ZEISS ViScan、ZEISS DotScan、ZEISS LineScan、ZEISS FaLconEye等，這些探頭可以在無(wú)需接觸的情況下進(jìn)行測(cè)量，適合在很短的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行高精度的測(cè)量。
粗糙度測(cè)量頭：如 ZEISS ROTOS，這款探頭采用模塊化設(shè)計(jì)和三軸旋轉(zhuǎn)，在進(jìn)行粗糙度測(cè)量時(shí)可提供較好的精度和大的靈活。
此外，還有蔡司三坐標(biāo)CMM測(cè)量?jī)x的接觸式掃描探頭、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的三坐標(biāo)探頭座等。這些不同類型的探頭可以滿足不同的測(cè)量需求，適用于各種行業(yè)和領(lǐng)域。